多晶矽燒結爐

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多晶矽燒結爐


多晶矽燒結爐详细信息:


多晶矽燒結爐应用领域:用于多晶硅坩埚烧结、烘烤等工业领域,每炉可同时容纳1~6工位坩埚烧结处理。该设备也可用于模具、铸件等金属件的淬火、退火等热处理。
特點:多層保溫結構;側面爐殼和爐門采用雙層隔熱結構,外殼溫度低,絕熱性好。
加熱方式:加熱元件合理布置于爐膛兩側、後牆、爐門、台車工作面底部,共5面加熱提高爐溫均勻性。
加熱元件:優質合金絲制作成螺旋狀或波紋狀,纏繞在陶瓷管或瓷釘組上,有效保證其熱輻射性和壽命。
台車工作面上鋪設碳化矽爐板,保護底部加熱元件。
台車采用一體化路軌或無軌式(根據用戶要求)。         
爐膛兩側配置冷卻風機,頂部開排氣通道,有效地提高冷卻速度。
温差:炉膛内部温差在5℃ 以内。
控溫精度:±1℃
用戶可根據熱處理工藝任意編輯曲線,操作簡單。

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